真空閥是指在真空系統(tǒng)中起到控制和調(diào)節(jié)真空度作用的閥門。
真空閥門的制造和維護(hù)需要更嚴(yán)格、更精細(xì)的技術(shù)，因?yàn)檎婵障到y(tǒng)需要更高的密封性能。目前市場(chǎng)上常見的真空閥門分類方法有很多，比如截止閥、調(diào)節(jié)閥等。根據(jù)結(jié)構(gòu)形式，可分為直通式、角通式、三通式等。
真空閥廣泛應(yīng)用于各種高純度氣體、流體處理等場(chǎng)景，如電子信息:可用于半導(dǎo)體蝕刻機(jī)、光刻機(jī)、涂層機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備等。，從而保證生產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。
太空航天:可用于氦氣回收、推進(jìn)器排氣、燃料供應(yīng)等高空環(huán)境的關(guān)鍵部位。生物醫(yī)學(xué):可用于癌癥治療、DNA檢測(cè)、超聲波成像儀等先進(jìn)醫(yī)療設(shè)備，保證設(shè)備操作精度，有效提高醫(yī)療效果。化學(xué)能源:可用于合成氣體、甲醇等化學(xué)原料的生產(chǎn)、油氣的開采和處理。實(shí)驗(yàn)研究:在實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)的各種高真空室、真空艙等設(shè)備中，保證實(shí)驗(yàn)環(huán)境的穩(wěn)定性、精度和靈敏度。
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